對於高效過濾器，我在上一篇文章中
大致介紹了一些高效過濾器的分類
其實很多人對於高效過濾器的了解還是停留在表面上的，
比如只知道潔凈室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效p4，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！
比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！
比如MPPS方法介紹的p4或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？
下面的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。
不太懂的就看黑體字就可以了！！！！
1.從HEPA說起
HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器
最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續最佳化自身規範和標準
目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部份計畫緊跟的是EN1822標準。
IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定只要在MPPS的氣溶膠下透過率大於99.95%的就可以,也就是p3以上;
從圖中可以看到如下資訊:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
針對以上的兩張表格,分析如下:
1.IEST中的 MMD-Mass Median Diameter指的是粒子品質中徑 ,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的品質大於這個值,50%的品質小於這個值.
因此不要認為IEST的規定 @ 0.3um >=99.97% 或者 @ 0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是品質中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;
2 .CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑 ,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是品質權重很大。 因此在IEST上面說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同
3.新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效系列,不同於以前的EN1822-2000;
4.MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重復試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部份的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ<1.15就可以認為是單分散, σ<1.5認為是準單分散，σ>1.5為多分散。需要註意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關系，也就是計算結果和粒徑沒有關系.因此我們可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.
5.對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;
2.氣溶膠發生器
氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出
壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM
空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM
Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05<σ<1.15
Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05<σ<1.15
自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5
氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定
從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試品質濃度比;而歐盟采用後面四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。
根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要註意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的。只要標準差小於1.5就可以這麽認為了。
對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要註意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,只需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏面的全部或者部份粒子數量即可。
舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部份。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部份廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。
根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在
MPPS/1.5-MPPS*1.5
MPPS/2-MPPS*1.5
MPPS/1.5-MPPS*2
這三種情況下進行計量。
考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏面任選一個並且選擇全部的粒子或者部份的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部份MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部份也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。
以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。
3:接收方法
一般有兩種方法。
一種是用於測定品質濃度的光度計,它不能計數 。因此可以用在DOP方法測試p3和p4上面特別是在現場的時候；
另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般只能分段測粒徑 。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上面已經說過了。
這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,透過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法只能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;
並且在EN1822-4和EN1822-5裏面已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析只能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;
4. IEST的測試方法
對於p3和p4,IEST要求對於其測試品質濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。
對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試品質濃度比為99.99%@p3p4是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。
對於大部份的計畫而言,還是使用p4以上的高效比較保險
5. EN1822測試方法
對於p0以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上面已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;
6:對測試結果的分析
由於現場測試的只能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了卜瓦松分布的95%置信區間的結果。
參考資料
IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括卜瓦松分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差
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