近日，江蘇省召開了全省科技大會暨科學技術獎勵大會，公布了2023年度江蘇省科學技術獎。由敏芯股份、東南大學以及中國電子科技集團共同完成的「高效能諧振式矽基MEMS慣性傳感器關鍵技術及套用」計畫榮獲江蘇省科學技術三等獎。
江蘇省科學技術獎由省人民政府設立，是江蘇省科技領域的最高獎項，主要獎勵在技術發明、技術開發、重大工程建設、科學技術成果推廣轉化、高新技術產業化、社會公益等方面取得顯著經濟效益或社會效益的科技計畫，每一項獲獎成果都代表了其所在領域的頂尖水平。
MEMS傳感器具有體積小、功耗低、一致性高、成本低等特點，為智慧裝置的發展奠定了重要的技術基礎。國家「十三五」規劃提出制造強國戰略，「十四五」規劃正式提出打造數位經濟新優勢，MEMS傳感器作為「卡脖子」領域的核心技術，對於數位經濟的推動作用愈發重要。
高效能諧振式矽基MEMS慣性傳感器代表了MEMS技術在慣性傳感領域的最新發展成果，這種技術革新提高了傳感器的效能並降低了生產成本。其采用諧振式工作原理，結合矽基材料的高精度加工技術，實作了對物體運動狀態的高精度感知和測量，在無人機、電動汽車、智慧機器人等需要高精度導航和姿態控制的領域具有廣泛的套用前景。
本計畫突破了高效能MEMS慣性傳感器結構設計、多回路全閉環式低雜訊測控電路、傳感器先進封裝技術、慣性測量誤差線上自補償技術等關鍵技術，自主研制成功高效能諧振式矽基MEMS慣性傳感器。
此次獲獎不僅是對創新成果的肯定，更是對未來的期許與鞭策，公司將繼續堅持創新戰略，向高精度、整合化、多領域發展，加大科研投入，強化技術壁壘，攻克關鍵難題，為客戶提供更多高效能傳感器產品。
